Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения пленарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и других микроактюаторах.
Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом.
Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.
Название: Электромеханические микроустройства
Авторы: Мухуров Н.И., Ефремов Г.И.
Издательство: Беларуская Навука
Год издания: 2012
Страниц: 259
Формат: PDF
Язык: Русский
Размер: 10.2 Mb
Скачать "Электромеханические микроустройства":
